该晶圆制作业厂属于西北的地区,通常产量89英寸半导体器件晶圆,日访问量废水处理方法尾气排股票放量约800吨。鉴于产量全过程中运用大量氢氧化钠做好晶圆蚀刻,导致废水处理方法中氟化物浓硫酸浓度可以达到200-300mg/L,远超地方尾气废气排放规定(10mg/L之下)。
生产废水含量及来源地
生活污水重要发源6个阶段:
晶圆蚀刻程序
:含高渗透压氟化物(HF)、氯化铵及极少量天价属
无机化学机械设备打磨抛光(CMP)废渣
:含奈米级硅颗粒物、设计络合剂
主设备洗废水处理
:含异丙醇、挥发酚等有机质物
清理新工艺方法
主要包括"药剂学发展自己+水泥混凝土发展自己+深浅吸附"两级加工体统:
特一级外理
:污泥脱水氯化钙和氢阳极氧化钙,组成氟化钙沉淀物中,氟化物祛除率达85%
两级外理
:增加PAC(整合氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),剔除胶体溶液态生态破坏物
三阶段处里
:在多物料滤水器和化学活化炭降解,出水出水氟化物含量相对稳定在8mg/L下例
重要主设备还包括:pH自己控制体系、斜管水解池、板框设备(生活污水脱水情况)。
从而视觉效果
建设项目运营五年监测方案数剧提示 :
氟化物年均浓度值:7.2mg/L(如果低于国家的规定)
COD祛除率:92%
污泥干化含水量率:≤65%
年收购氟化钙副车辆约150吨,达到资源的化进行