郑州某半导体行业心片制造技术厂，晶圆工艺时中产生了含硅、氟的异常生活污水，的设计加工范围1200吨/日。生活污水物质缜密，有nm级硅颗料及氢佛酸，经典加工的方式难于及格。 化工废水组成及收入 注意严重排放物 ：悬浊液硅（100-500nm粒度分布）、氟铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 种类程序 ：晶圆刻蚀废渣（45%）、CMP化学工业机戒打蜡 废渣（40%）、的设备冲刷水（15%） 处理生产技术过程 创新技術利用"化学工业悠长岁月中+珍禽膜分离处理"技術路经： 钙盐析出 ：污泥脱水氯化钙取除氟化合物（产生CaF2沉积） 斜管沉淀池反馈 ：复合材料斜板沉淀池剂建立橡胶胶体部分硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔经膜截流微细颗料 反融于体统 ：脱盐率>98%，收旧率75% 化掉晶体 ：浓水段构建氟化物零直接排放 既定作用 氟化物含量：<8mg/L（不超我国七级标准化10mg/L） 硅含量：<5mg/L 水环境量工业废水处理率：70%用做水密闭式冷却塔补湿 危险废物可以减少：挥发沉渣量较传统型工艺技术可以减少60%